真空環境試験装置

高真空環境での試験を行う為のスペースチャンバです。
航空宇宙関係の素材研究、機器の研究に適しています。
排気速度 4000L/sec 以上の大型ターボ分子ポンプを2基搭載することが可能です。

• チャンバサイズ　
  
  (φ×L)=600㎜×1000㎜
• 内部ステージ用座　付き
• 手動／自動　排気機能　付き
• テストポート　ご要望承ります
• 温度環境、X-Y 等の内部ステージ各種　ご要望承ります