ターボ分子ポンプ、スクロールポンプをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。
スクロールポンプ、シュラウド式コールドトラップをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。
ターボ分子ポンプ、油回転ポンプを組み込んだ手動排気装置です。
