抵抗加熱式の蒸着装置となっており、高真空領域で単結晶膜を作製することができます。
抵抗加熱式の蒸着装置となっており、金属膜、有機膜を作製することができます。
超伝導転移端センサ―(TES)に適合するチタン、金の積層膜を作製することができます。
