サービス
Services
改造、修理受託・オーバーホール受託
お客様の困りごとにお応えします。
ご要望をヒアリング、納得いただける提案をいたします。
弊社から購入した製品以外でも対応いたします。
実績：
- 他社スパッタ装置改造（高温加熱マニピュレータ設計・製作）
- 国内メーカー製電子ビーム用電源修理
- 各種真空ポンプオーバーホール 多数
装置移設
フロア間や別棟への移設、移設に伴う改造など承っております。
下見に伺い、現場で協議させていただきます。
移設前の状況記録・解体・梱包・搬出／搬入・据付・動作確認までサポートいたします。
受託製造
ご依頼範囲は、部品の製作・購入、組立、調整、検査など、御要望にお応えいたします。
お客様の御要望に合わせた受託製造を承ります。まずは一度ご相談ください。
- 半導体向け装置メーカー様、FPD装置メーカー様 実績有
- 製造環境（組立･検査工場、クリーンルーム） 応相談
- 大容量窒素ガス供給設備 有（クリーンルーム付帯設備）
- ご要望に応じて設備増強も対応 応相談
クリーンルーム1
クリーンルーム2
ハイクラス
クリーンルーム3
組立・検査工場
表面洗浄（脱脂洗浄）
㈱アクアテック製真空２槽式自動洗浄機を備えています。
環境にやさしい炭化水素系洗浄剤での洗浄処理が可能です。
真空装置などに構成する部品の脱脂洗浄に活躍します。
洗浄後の製品はクリーンルームでの梱包、出荷いたします。
表面洗浄（真空脱ガス処理）
本処理を真空容器や部品に施すことで、処理品からの放出ガス量を減少させる効果があり、清浄な真空環境を実現するお手伝いをいたします。
弊社設備はオイルフリーな排気系で構成されており、また質量分析計による残留ガス分析により高品質な処理をお約束いたします。
- 装置到達圧力：3.0 × 10-6 Pa以下
- 有効加熱スペース：W=800㎜ × D=800㎜ × L=1800㎜（最大重量700㎏）
- 加熱制御温度：300 ～ 750℃
サービスの流れ
Service Flow
お問い合わせ
まずはお問い合わせフォームまたは電話にてご連絡ください。
STEP
1
ヒアリング
担当者よりご連絡させていただき、現状の確認やお客様のご要望などをお伺いいたします。
STEP
2
ご提案・お見積り
ヒアリングした内容を元に営業または技術・設計スタッフとお打合せ。
STEP
3
ご契約・発注
秘密保持契約など、発注に際して必要な契約をいたします。
STEP
4
ご依頼品の製作・試験
弊社にて製作、製造・技術スタッフによる試験・検査を行い検査証を発行いたします。
STEP
5
確認・納品
ご依頼品に対して、ご確認いただきます。必要に応じて修正を行い、納品となります。
STEP
6
お支払い
検収に際しまして請求書を発行させていただきます。ご契約条件にてお支払いをお願いいたします。
STEP
7